旭宇騰精密科技股份有限公司 相關專利權資料
總計 13 筆資料
資料來源為：經濟部智慧財產局開放資料 API。
| 公開公告日期 | 公開公告號 | 專利類別 | 專利名稱 |
|---|---|---|---|
| 2026-03-11 | I918362 | 發明 | 晶圓處理設備及晶圓處理方法 |
| 2024-11-11 | I862298 | 發明 | 抽氣構件及包含其的基板處理設備 |
| 2024-09-11 | I855931 | 發明 | 電極裝置及具該電極裝置的原子層沉積設備 |
| 2024-06-11 | M656503 | 新型 | 平衡裝置及包含其的基板處理設備 |
| 2024-05-01 | M654920 | 新型 | 電極裝置及具該電極裝置的原子層沉積設備 |
| 2024-04-01 | M653562 | 新型 | 前驅物供應系統 |
| 2024-03-11 | M652663 | 新型 | 原子層沉積裝置 |
| 2024-03-11 | M652702 | 新型 | 氣體擴散噴頭及薄膜沉積裝置 |
| 2024-03-11 | M652755 | 新型 | 抽氣構件及包含其的基板處理設備 |
| 2024-03-11 | M652782 | 新型 | 氣體噴灑頭及具該氣體噴灑頭的原子層沉積裝置 |