天虹科技股份有限公司 相關專利權資料

總計 54 筆資料

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公開公告日期 公開公告號 專利類別 專利名稱
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2023-03-01 202309317 發明 物理氣相沉積腔體的暖機方法
2023-01-01 202300682 發明 開合式遮蔽構件及具有開合式遮蔽構件的薄膜沉積機台
2022-12-01 202246553 發明 磁場分布調整裝置、可調整磁場分布的沉積設備及其沉積方法